精密加工是在20世紀60年代為適應核能、大規(guī)模集成電路、激光、航天等頂尖技術(shù)需要而發(fā)展起來的精度很高的一種加工技術(shù)。到了80年代初期，較高的加工尺寸已經(jīng)可以達到10納米級，其表面粗糙度達到1納米。而加工的較小尺寸可達到1微米，正在向納米級加工尺寸的精度目標前行。
    納米級的精密加工也被稱為納米工藝。精密加工時處于發(fā)展中的跨學科綜合技術(shù)。
    在20世紀80年代到50世紀80年代，為精密加工技術(shù)的開創(chuàng)期。在20世紀50年代末，基于航天、國防等頂端技術(shù)發(fā)展的需要，美國開始開展精密加工技術(shù)，并研發(fā)了金剛石刀具精密切削機械，主要被用于加工激光核聚變反射鏡，戰(zhàn)術(shù)導彈以及載人飛船用球面、非球面等大型零件中。